SIMS Workstation, UHV SIMS phân tích bề mặt màng mỏng, khối phổ ion thứ cấp tĩnh, thà

Sản phẩm của hãng Hiden Analytical Ltd., UK.
Phép trắc phổ khối ion thứ cấp (SIMS) là kỹ thuật phân tích bề mặt có độ nhạy cao nhất với giới hạn phát hiện nhiều nguyên tố đến hàm lượng ppb cùng khả năng phát hiện được tất cả các nguyên tố và đồng vị. Mẫu được bắn phá bởi một chùm ion trong điều kiện chân không siêu cao và vật liệu phún xạ, đặc tính của bề mặt được phân tích bởi khối phổ có độ nhạy cao.
Hệ thống SIMS của Hiden là công cụ phân tích bề mặt linh động, trang bị một súng bơm ion khí cho sự bắn phá Oxi và Argon trong suốt phép đo khối phổ thứ cấp ion – SIMS và phún xạ khối phổ trung hòa – SNMS (sputtered neutral mass spectrometry), cùng một súng bơm Cesi nhạy với các ion âm. Cả hai súng bơm ion sơ cấp này đều được điều khiển bởi một giao diện máy tính trực quan, cho phép quan sát hình dạng và cường độ chùm ion trong quá trình điều khiển. Các thông số có thể được lưu giữ và lấy lại cho quá trình tái cài đặt công cụ trở nên nhanh chóng. Hiden cung cấp những tùy chọn theo nhu cầu nghiên cứu cụ thể hay những yêu cầu giám sát quá trình, đảm bảo hiệu suất tối đa, phù hợp với ứng dụng của người dùng. Phạm vi của súng bơm ion và máy phổ đáp ứng cho các phép đo khối phổ thứ cấp ion tĩnh, SIMS mô tả độ dày và SNMS cũng như đưa ra sự phát hiện các dải năng lượng và khối lượng cho ISS (ion scattering spectroscopy) năng lượng thấp.
Máy khố phổ tứ cực MAXIM độ nhạy cao phân tích các ion âm, ion dương và cả những thành phần trung hòa. Mẫu phân tích tịnh tiến theo hướng x và y, nhờ đó mà khoảng cách thu mẫu được duy trì một cách tối ưu.
Sự tạo ảnh SIMS cũng mà một công cụ mạnh mẽ của thiết bị. Cùng với đó, phổ SIMS tĩnh dễ dàng thu được nhờ sử dụng phần mềm MASoft để điều khiển tất cả các thông số phân tích. Một camera cho phép định vị chính xác. Trong ví dụ này, hố trũng của bộ phận phân tích chiều sâu trong silicon được thấy xuất hiện. MASSoft thích hợp cho điều khiển việc khôi phục, hoạt động của van, khối lượng và tốc độ thu thông qua giao diện biểu đồ đường.
Thiết bị được sử dụng trong:
+ CVD/ MOCVD/ ALCVD
+ Nanotechnology
+ Surface science and UHV surface science
+ Thin films and surface engineering