EQS của Hiden là một hệ thống máy khối phổ ion thứ cấp gắn đầu dò SIMS, được tích hợp trong buồng khảo sát bề mặt UHV. Thiết bị là sự lựa chọn lý tưởng cho việc phân tích các ion dương và ion âm thứ cấp từ những mẫu tinh thể.
SIMS động/ tĩnh với bộ phận ion hóa kết hợp phân tích năng lượng cho phân tích tạp chất/ thành phần RGA , mô tả độ dày, phát hiện chỗ rò rỉ và phân tích khí giải hấp.
Tính năng nổi bật của thiết bị:
Hệ thống máy khối phổ ion thứ cấp kết hợp máy phân tích SIMS nổi bật với các tính năng:
+ Bộ đếm ion xung động độ nhạy cao với dải động học lên đến 7 decade
+ Tối thiểu hóa sự nhiễu loạn đường bay của ion, ổn định đường truyền ion tại tất cả các mức năng lượng
+ Bộ ba tứ cực lọc, với tùy chọn khối lượng lên 2500 amu, áp kế từ Penning, và khóa liên động bảo vệ quá áp.
+ Nhiều lựa chọn bơm khác nhau phù hợp với các môi trường ở điều kiện áp suất cao
+ Phần mềm làm việc Massoft được điều khiển thông qua các kết nối RS232, RS485 hay mạng LAN Ethernet tối ưu hóa quá trình nghiên cứu của người sử dụng.
Thông tin chi tiết xem tại: http://reecotech.com.vn/san-pham/do-...cap-tu-mau-ran