PC817 thường thì tốc độ 80khz thui bác, mặc dù mình đã test lên 200khz cũng được, nhưng xung bị méo. Một trong các datasheet của nó đây:
http://www.farnell.com/datasheets/73758.pdf
Như bác decided nói, bác thử dòng TLPxxx nhanh hơn
Thật ra trong trường hợp con này, chạy với Mach3 thì PC817 cũng được mặc dù nếu là mình thì mình sẽ ko dùng.