cá nhân em ko nghĩ do chip, dù sao cũng cần đo kiểm loại trừ dần .
ngỏ vào encoder của 1 con servo yaskawa, 75175 có filter ngõ vào
em nghĩ anh xem xét việc bổ sung tvs diode ah, một khả năng là MCU của japan nó build in TVS diode cho IO
http://www.onsemi.com/pub/Collateral/AND8230-D.PDF
clock , thử các loại xo, tcxo, vcxo xem sao ah
tụ filter , check xem có phải loại X7R/X5R hay ko, mấy chú tụ loại Y5 dùng ko tốt
ah, mà sao anh ko làm luôn từ đầu, tke phần công suất mosfet, dùng motor 100V đổ lại , khi đó sẽ kiểm soát mạch tốt hơn là tận dùng từ biến tần
b.r