em cảm ơn các bác đã tư vấn, tổng kết lại e đoán nguyên nhân là nhiễu đơn lẻ trên riêng trục Z vì các trục khác không thấy bị ảnh hưởng, hơn nữa cái step nó nằm ngay sát spin nên khả năng nhiễu trực tiếp từ spin vào step là cao. Để khắc phục e định khử nhiễu thế này:

- dây điều khiển step dùng loại có bọc nhôm
- bọc nhiễu cả step trục Z
- Gắn filter cho nguồn
- Nối đất phần nào cần thiết

mong là chỉ cần 2 thao tác đầu là khắc phục đc