nó quay lên đến 27 K rpm , là AC servo nữa , vậy biến tần đủ hz đưa nó lên mây không ? nếu nó là induction motor thì chuẩn men rồi.

thấy bên quận 8 rã vài em cắt đĩa Wafer rồi , toàn dùng Airbearing, dù gì cân bằng như thế nào đi nữa nó vẫn không đạt được độ êm như đệm khí được, thấy cái đồng hồ chỉ hiện thị 25Krpm thôi chứ maxlên tới 60Krpm thì airbearing vẫn chuẩn hơn trong việc cắt wafer.